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高低溫真空探針臺

作者:發(fā)布時間:2022-06-07分類:探針臺閱讀:977 ℃評論:0 評論


高低溫真空探針臺


極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。


高溫?zé)o氧化測試:

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。


◆ 其他組件:

真空組件

分子泵組/機械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機


◆ 可選附件

超高溫配件

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

高壓測試配件

分子泵組

激光系統(tǒng)

氣敏測試配件

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